代替品 1-8204-12 キャリア K182-60MB-97C02
特徴
- 薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
- 保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
仕様
- 型番:KA182-60MB-47C02
- ウェハー径(mm):150(6″)
- サイズ(mm):143.38×177.8×170.81
- 収納枚数:25枚
- 連続使用限界温度:120℃
- 材質:SP3000(導電性PEEK+CarbonFiber)
- 高温ウェハー投入限界温度:340℃
荷姿サイズ:180×150×175 mm 500 g [荷姿サイズについて]